מאפייני תהליך תחריט אידיאלי

תהליך התחריט האידיאלי צריך להיות בעל מאפייני המפתח הבאים כדי לעמוד בדרישות הדיוק הגבוה של ייצור מוליכים למחצה ושדות עיבוד מיקרו-ננו אחרים:

① תחריט אניסוטרופי, שמשמעותו רק תחריט אנכי ללא קידוח לרוחב . רק בדרך זו נוכל להבטיח שכפול מדויק של צורות גיאומטריות זהות לאלה שנמצאים נגד הסרט החרוט;
סלקטיביות תחריט טובה פירושה שקצב התחריט של ההתנגדות המשמש כמסיכה והסרט או החומר הדק הבסיסי הוא נמוך בהרבה מזה של הסרט הדק החרוט, כדי להבטיח את יעילות מיסוך ההתנגדות במהלך תהליך התחריט ולמנוע נזק לחומרים אחרים מתחת לסרט הדליל כתוצאה מתחריט יתר;
③ אצוות עיבוד גדולות, בקרה קלה, עלות נמוכה, זיהום סביבתי מינימלי, מתאים לייצור תעשייתי .