תהליך תחריט המתכת

אחד משלבי המפתח בייצור מעגלים משולב הוא להסיר את שכבת הסרט הדק שלא מכוסה על ידי ההתנגדות ולקבל תבנית בסרט הדק התואם לחלוטין את סרט ההתנגדות .
בתהליך הייצור של מעגלים משולבים, תחילה נדרשות סדרה של פעולות נאותות כמו יישור מסכות, חשיפה ופיתוח כדי לשכפל במדויק את התבנית הרצויה בסרט ההתנגדות . בנוסף, ניתן להשתמש ישירות גם בין קרני אלקטרונים ברשותם לסרט התנגדות {}}} {}} {}} {}} {} {
After completing this step, the pattern is immediately transferred to the dielectric thin film (such as silicon oxide, silicon nitride, polycrystalline silicon) or metal thin film (such as aluminum and its alloys) below the resist with extremely high precision, thereby creating a thin layer pattern on the thin film layer that is completely consistent with the design requirements.

תהליך התחריט ממלא תפקיד מכריע בתהליך זה, מסיר באופן סלקטיבי את שכבת הסרט הדק לא מוגן באמצעות כימיקלים, פיזיים או שילוב של שתי השיטות, ויוצר דפוס בסרט הדק זהה לזה בסרט ההתנגדות .ליבת טכנולוגיית התחריט טמונה בסלקטיביות שלה, כלומר, רק הסרת החלקים שלא מכוסים על ידי ההתנגדות תוך שמירה על החלקים המוגנים על ידי ההתנגדות .
טכנולוגיית תחריט מחולקת בעיקר לשני סוגים: תחריט יבש ותחריט רטוב .תחריט יבש משתמש בעיקר בגזים תגוביים ובפלזמה לתחריט, תוך תחריט רטוב בעיקר משיג תחריט באמצעות תגובות כימיות בין ריאגנטים כימיים לחומר שנחרט, בדרך כלל בסביבה נוזלית, תוך שימוש בפתרונות כימיים כדי להמיס באופן סלקטיבי חומרי סרט דקים {}}}
לשתי שיטות תחריט אלה יש יתרונות וחסרונות משלהם . ביישומים מעשיים, יש לבחור אותם ולייעל אותם בהתאם לצרכים ספציפיים כדי להבטיח שתבנית השכבה הדקה הסופית המתקבלת עונה על דרישות העיצוב .